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扩散炉

太阳能扩散炉

太阳能扩散炉
产品详情:

◆工作温度: 300~1200℃
◆有效口径根据用户扩散片确定,可订制
◆恒温区长度: 920mm-1350mm(可根据用户要求定制)
◆温区精度 (静态闭管测试):
      600℃<工作温度<1200℃: ±0.5℃
      300℃≤工作温度≤600℃: ±1℃
◆单点温度稳定性(静态闭管测试):
      600℃<工作温度<1200℃: ±0.5℃/24h
      300℃≤工作温度≤600℃: ±1℃/24h
◆温度斜变能力:
      最大可控升温速度(300~1300℃):15℃/min
      最大降温速度(1300~900℃): 5℃/min
◆气体流量设定精度: ±0.5%FS
◆气路系统气密性:      1×10-7pa.m3/s
◆自动送料装置行程: ~2000mm
      速度: 5~1000mm/min,SiC浆承重 20kg
◆装片数量 400片/管
◆净化台洁净度 100级(10000级厂房)
◆三相五线制 380V±10%,50Hz±10%Hz;
◆冷却水: 2~4Kgf/cm2,~8L/min

太阳能电池扩散主要有开管扩散和闭管软着陆扩散两种形式

◆闭管磷扩散,带有工艺废气冷却定向回收装置,偏磷酸、CL2分开收集处理;工艺废气集中收集从尾部定向排出;各种工艺气体可分开送入石英管内,工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内。闭管软着陆扩散方式工艺过程完全不受外界环境干扰,工艺质量完全受保护。
◆自动化程度:自动控制温度及工艺过程。主控温控模块采用国外进口,可在达到±0.25℃的控制精度。
◆送取片方式:悬臂式推拉舟。采用侧面布局的悬臂推拉结构,可有效的防止偏磷酸下滴,造成推拉机构受腐蚀,影响推拉机构的精确性。

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